质量流量控制器的原理和应用

【摘要】：质量流量控制器的原理和应用北京建中机器厂流量技术室质量流量控制器用于对各种气体的质量流量进行精密测量和控制。它大量用于电子工艺设备中，如扩散、氧化、外延、ＣＶＤ、等离子刻蚀、溅射等，以及镀膜设备、光导纤维制造设备中，并广泛用于石油化工、冶金、制药等行...

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中国期刊全文数据库

前20条

1	;质量流量控制器的原理和应用[J];中国仪器仪表;1995年02期
2	唐剑平;;质量流量控制器的原理与维修[J];电子与封装;2002年02期
3	;CS系列气体质量流量控制器/流量计[J];中国集成电路;2009年04期
4	王长勋;5850i型质量流量控制器的原理及应用[J];石油化工自动化;2002年02期
5	吴英;;热烈祝贺北京堀场汇博隆精密仪器有限公司开业[J];真空;2011年02期
6	;实验室用磁控溅射台[J];真空科学与技术;1991年06期
7	;北京堀场汇博隆精密仪器有限公司举行开业庆典[J];太阳能;2011年07期
8	郭潞璧;赵玉岚;;关于气体的微流量控制[J];低温与特气;1984年04期
9	;气体质量流量控制器的原理和应用[J];真空;1995年03期
10	雨佳;;日本泰兰公司走进美国市场[J];中国仪器仪表;1992年05期
11	李云程;真空集热管镀膜机推广应用新技术——双路质量流量控制器[J];太阳能;1997年04期
12	范雨珍;气体质量流量与压力的测量和控制[J];中国仪器仪表;2001年S1期
13	黄一祥;曾周末;靳世久;黄四萍;;多元气体配气仪设计及精度分析[J];现代科学仪器;2009年03期
14	彭剑;曹广忠;黎俊龙;周受钦;段战归;;基于LabVIEW的气体传感器程控标定系统[J];仪表技术与传感器;2009年10期
15	吴日光;关于离子源供气气压稳定性的探讨[J];原子能科学技术;1986年06期
16	赵建华;兰华永;陈滋健;李庄;赵崇文;;基于质量流量控制器的多组分动态配气系统研究[J];自动化仪表;2008年02期
17	张红涛;刘仲明;朱学峰;邬江洪;;CMOSens~流量计和控制器在NO输送系统中的应用[J];中国医学物理学杂志;2006年04期
18	赵亚威;胡瑞;陈亮;;基于质量流量的高精度气体浓度配比仪的设计[J];沈阳理工大学学报;2009年03期
19	张红涛;刘仲明;朱学峰;;与呼吸机同步的NO吸入装置的研制[J];中国医疗器械杂志;2006年03期
20	阮广福;;一种智能化NO输送系统的研制[J];广东教育学院学报;2009年03期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	孔玉梅;尚志红;廖小雄;;质量流量控制器在超低温箱制冷系统调试中的应用[A];第三届电子产品可靠性与环境试验技术经验交流会论文集[C];2001年
2	胡树国;杨圣辉;吴海;李梦怡;;稀释法发生低含量硫化氢气体方法的研究[A];全国气体标准化技术委员会、全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组第四届成立大会暨四届一次联合会议论文集[C];2010年
3	王世阳;张磊;鹿红伟;吴民安;陈坚波;周国勇;李良;陈永郑;;一种实用的基于无线网络的集散式空调监控系统的设计[A];中国制冷学会2009年学术年会论文集[C];2009年
4	贾利民;张锡第;谢肇桐;;基于模糊穴—空间映射的控制器结构研究[A];1994中国控制与决策学术年会论文集[C];1994年
5	祝颖丹;王继辉;;SCRIMP成型工艺新技术-Ⅱ:树脂联合注射流动速率的控制[A];第十四届玻璃钢/复合材料学术年会论文集[C];2001年
6	林凡;黄景梯;姚晓先;;激光驾束制导系统弹上控制器的设计与分析[A];2001中国控制与决策学术年会论文集[C];2001年
7	崔国光;李丽;;前苏联15000m~3／h制氧机切换控制系统改造[A];全国冶金企业计控网络化研讨会论文集[C];2003年
8	周劲松;张洪;任利惠;沈钢;;铁道车辆主动悬挂补偿滤波器控制算法研究[A];中国铁道学会车辆委员会2004年度铁路机车车辆动态仿真学术会议论文集[C];2004年
9	殷树言;刘嘉;冯曰海;阎涛;丁京柱;;铝合金PMIG/MAG工艺过程控制及双脉冲焊实现[A];第六届21世纪中国焊接技术研讨会暨第四届计算机在焊接中的应用交流会论文专刊[C];2004年
10	杨洪勇;张福增;林相泽;宗广灯;;Internet拥塞控制系统的自整定PID控制器[A];2005年全国自动化新技术学术交流会论文集[C];2005年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	吴晓群;几种混沌系统的控制及一种单阶PFC电路的分岔分析[D];武汉大学;2005年
2	王双红;混合动力电动车用开关磁阻电机控制系统研究[D];华中科技大学;2005年
3	张志丰;桥路型高温超导限流器的研究[D];中国科学院研究生院（电工研究所）;2006年
4	张伯俊;四轮转向汽车横向动力学特性及控制研究[D];天津大学;2006年
5	吴国庆;用于数控机床的磁悬浮支承系统及其控制技术[D];上海大学;2006年
6	张晓琴;基于模糊神经网络盲均衡算法的研究[D];太原理工大学;2008年
7	鄢奉林;环件冷辗扩过程测量与控制研究[D];武汉理工大学;2008年
8	吴长水;电控单体泵系统及实时控制软件研究[D];上海交通大学;2009年
9	王寿光;基于简化技术的离散事件系统控制器的综合[D];浙江大学;2005年
10	周志坚;基于遗传算法的神经模糊技术应用研究[D];华南理工大学;1999年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	李虎;基于国际法的恶臭动态嗅觉仪研究[D];浙江大学;2012年
2	陈诚;质量流量控制器的本地生产系统规划方案[D];上海交通大学;2012年
3	任术波;气体传感器的自动测试系统[D];大连理工大学;2002年
4	蒲实;气体稀释装置的软硬设计与实现[D];电子科技大学;2011年
5	马宪超;微量气体混合控制系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
6	毕金虎;气流式微富集系统研究与设计[D];延边大学;2011年
7	陈欣;人工心瓣热解炭涂层炉气体流量监视与控制系统的研究[D];杭州电子科技大学;2011年
8	卢丹;基于LabVIEW的气体流量测试系统设计[D];南京理工大学;2010年
9	胡晓晖;电子鼻实验平台的设计与构建研究[D];浙江工商大学;2011年
10	黄列威;车载冰箱控制器的设计[D];华南理工大学;2012年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	记者王文韦;博士出站引领创新[N];首都建设报;2010年
2	河南曲善广吴东明;有线电视可寻址控制器故障分析[N];电子报;2007年
3	江西杨利明;浮球液位控制器的应用[N];电子报;2007年
4	;Cypress出妙招手机芯片复制南北桥模式[N];电子资讯时报;2006年
5	黑龙江梁显达李洪滨李志君;助力车无刷电机结构和控制器电路简析与检修（二）[N];电子报;2007年
6	河南王素军;用灯串控制器改制多彩闪烁器[N];电子报;2007年
7	河南王素军;投影机幕布收/放控制器电路原理与维修[N];电子报;2008年
8	;优化SAN的投资回报[N];网络世界;2002年
9	潘新兴顾卫华;变电现场接地线使用控制器”获专利认证[N];华东电力报;2010年
10	;F5 BIG/ip控制器为Domino服务器均衡负载[N];中国计算机报;2002年

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