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薄膜技术的发展和应用

周立  
【摘要】:正 有人〔1〕认为最近十年薄膜技术的迅速发展主要是由于以下四个领域取得了进展: 1.工业上应用领域逐步扩大,用量迅速增加; 2.新的分析检测技术的进步; 3.改进了薄膜工艺的监测和控制; 4.薄膜工艺的逐步定型。我认为除了以上四个方面以外,与真空技术特别是高真空、超高真空技术的发展和表面科学的进步也是密切相关的。一、薄膜技术已经发展到工业规模的应用材料、能源、信息工程是近代社会在物质上的三大支柱,有人还说材料是能源、信息工程的基础。当前材料所面临的问题是扩

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