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激光脉冲使硼在硅中扩散

姚杰  
【摘要】:正 几年前,苏联一个科研小组,提出采用激光对离子注入的样品进行退火处理,取代过去惯用的热退火处理,对晶格损伤的修复和杂质的电激活效果更好.同时发现在激光退火的过程伴随注入杂质离子的快速扩散而重新分布.其扩敞迅速程度,不能用固相扩散过程来解释,因为根据激光退火实验所得的扩散系数比一般固相热扩散的大

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