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开管热氧化SiO_2膜的红外吸收带

刘春荣  
【摘要】:正 热生长SiO_2膜无论是作为硅光电器件的保护膜,还是硅的红外抗反射膜,都需要了解SiO_2膜对红外线的吸收情况.有人研究过热氧化SiO_2膜的结构,并给出了红外吸收带的

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