光电子封装超精密运动平台末端姿态调整

【摘要】：针对光电子封装中超精密平台运动控制困难,末端坐标系与各轴运动关系复杂等问题,对串联机构的几何结构以及单自由度运动轴与末端姿态变换的关系进行研究。其步骤是:首先,基于串联机构的D-H方程,分析运动轴与其位姿的坐标变换并建立各运动轴和末端阵列光纤的位姿运动方程;然后,以末端点为原点,由位姿运动方程导出保持末端点不动的轴运动约束方程;最后,由约束方程导出旋转轴运动条件下移动轴的运动补偿方程。研究结果表明:在微小行程下,通过旋转轴行程的均匀细分和移动轴的运动补偿,末端原点的运动范围大大减少,减少的比例与细分系数近似呈正比。