气体质量流量控制器的原理和应用
【摘要】：气体质量流量控制器的原理和应用质量流量控制器用于对各种气体的质量流量进行精密测量和控制，大量用于电子工艺设备（如扩散、氧化、外延、ＣＶＤ、等离子刻蚀、溅射等）以及镀膜设备、光导纤维制造中；并广泛用于石油化工、冶金、制药等行业。质量流量控制器的英文名字...
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