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第二十讲 真空离子镀膜

张以忱  
【摘要】:正(接2020年第3期第96页)13.5.3过滤式真空电弧离子镀膜技术A过滤式电弧离子镀膜机结构型式典型的过滤式真空电弧离子镀设备结构如图47所示。其核心结构是一个A ksenov过滤器。它是一个具有螺旋管电磁线圈的不锈钢或石英弯管。电磁线圈提供控制等离子体流运动的外加

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1 于传跃;韦光华;曲建华;;真空离子镀膜机冷阴极电弧源工作机理分析[A];2002年黑龙江省机械工程学会年会论文集[C];2002年
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3 吴振华;黄经筒;游本章;;用于真空电弧离子镀膜的受控电弧蒸发源[A];中国电工技术学会电子束离子束专业委员会第四届电子束离子束学术年会暨中国电子学会焊接专业委员会第二届电子束焊接学术年会论文集[C];1991年
4 王福贞;;《真空镀膜技术的进展》[A];TFC'15全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2015年
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1 廖凤娟;离子镀膜机真空机组设计及涂层工艺研究[D];西华大学;2014年
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