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第二十讲 真空离子镀膜

张以忱  
【摘要】:正(接2019年第2期第80页)射频离子镀的不足之处是:(1)由于在高真空下镀膜,沉积粒子受气体粒子的碰撞散射较小,绕镀性较差。(2)射频辐射对人体有伤害,必须注意采用合适的电源与负载的耦合匹配网络,同时要有良好的接地,防止射频泄漏。另外,要有良好的射频屏蔽,减少或防止射频电源对测量仪表的干扰。11.2射频放电离子镀中若干问题的探讨11.2.1离化率射频放电离子镀的离化率,约介于直流放电

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