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真空技术及应用系列讲座 第十八讲 真空蒸发镀膜

张以忱  
【摘要】:正(接2013年第3期第88页)2.3.3膜材的蒸发速率在蒸发物固(或液)相与其气相共存体系中,在热平衡状态下,根据气体分子运动论,若气体压力为p,温度为T,则单位时间内碰撞单位蒸发面积的分子数为

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