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直流反应磁控溅射在3003铝箔表面制备薄膜的研究

黄晓辉  左秀荣  王齐伟  史新伟  李广钦  刘凤芹  
【摘要】:为有效提高3003铝箔表面光泽度、比面积及强硬度,采用直流反应磁控溅射的方法,在一定溅射参数条件下,选用高纯钼靶和钛靶对3003铝箔进行溅射实验,分别在铝箔表面主要沉积出AlMo3、Al3Mo薄膜和TiAl、(Ti,Al)N薄膜,利用X射线衍射、扫描电镜分析相组成及微观组织结构,并测试了显微硬度和薄膜厚度,实验结果表明:制备出的AlMo3、Al3Mo薄膜和TiAl薄膜结晶良好,与基底结合良好,铝箔表面美观漂亮、硬度增高及比表面积得到一定提高。

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