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比对法漏率校准装置

张涤新  冯焱  张建军  郭美如  沈辉  
【摘要】:比对法漏率校准装置是计量气体漏率的一种装置 ,可绝对法和相对法对真空漏孔进行校准。绝对法的校准范围为 10 - 4~ 10 - 9Pa· m3/s;相对合成标淮不确定度为小于 10 %。相对比对法的校准范围为 10 - 6~10 - 1 0 Pa· m3/s,相对合成标准不确定度为小于 2 5 %。

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