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离子注入激光退火的硅毫米波段IMPATT器件初探

石万全  刘世祥  柳雪君  刘衍芳  杨玉芬  祁乃侠  张晓卫  
【摘要】:本工作利用Nd:YAG连续激光退火制成工作频率为118GC、输出功率达18mW的IMPATT器件。

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