铁杂质对真空定向凝固多晶硅电阻率的影响研究

【摘要】：利用扫描电子显微镜-X射线能量色散谱、微波光电导衰减法和四探针电阻率测试仪等分析设备,结合Fe-Si二元相图,研究了真空定向凝固多晶硅中Fe杂质的赋存形态和硅锭从底部到顶部四个特征位置径向电阻率的分布情况。结果表明:Fe杂质在真空定向凝固多晶硅中的赋存形态主要为α-Fe(Si)和β-Fe(Si),过饱和固溶体α-Fe(Si)的分解是导致Fe杂质在硅锭中形成沉淀相且浓度分布不均匀的重要原因;Fe杂质在硅锭中不同位置形成的沉淀相与电阻率分布曲线波动相吻合。根据对Fe浓度与电阻率之间的关系以及不同温度下Fe杂质的赋存形态,推导得出了真空定向凝固多晶硅中径向电阻率分布与Fe杂质浓度间的关系式,提出了提高硅锭电阻率均匀性的措施并通过实验得到验证。

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前12条

1	钟廷志;刘宽;邹克;崔永祥;张小英;;基于定向凝固工艺的多晶硅铸锭墩锅料处理利用[J];河北能源职业技术学院学报;2014年01期
2	吴亚萍;张剑;高学鹏;李廷举;;多晶硅的真空感应熔炼及定向凝固研究[J];特种铸造及有色合金;2006年12期
3	张慧星;谭毅;孙世海;许富民;姜大川;;定向凝固提纯对工业硅杂质及电阻率的影响[J];机械工程材料;2011年03期
4	刘秋娣,林安中,林喜斌;多晶硅锭的制备及其形貌组织的研究[J];稀有金属;2002年06期
5	牛晓武,赵志龙,刘林;脉冲磁场下铝合金定向凝固磁场分布数值模拟[J];中国铸造装备与技术;2005年04期
6	郭小燕;王成国;;Ni_3Al-Mo复合材料的显微特征及拉伸特性[J];电子显微学报;1990年03期
7	张冬云;李志波;赵恒;左铁钏;;工艺参数对Rene80激光定向凝固组影响研究[J];应用激光;2013年02期
8	刘玉聪;;定向凝固HgCdTe合金的生长参数对组分变化的影响[J];红外与激光技术;1986年01期
9	冯莉萍,黄卫东,林鑫,杨海欧,杨健;热处理对FGH95合金激光成形定向凝固显微组织的影响[J];应用激光;2002年02期
10	冯莉萍,黄卫东,林鑫,杨海欧,陈大融;基材晶体取向对激光定向凝固单晶显微组织的影响[J];应用激光;2004年03期
11	胡世高;;HgCdTe和HgZnTe在横向磁场中的定向凝固[J];红外与激光技术;1991年06期
12	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	李俊涛;吴剑涛;王祯;燕平;曾强;;重型燃机用定向凝固合金及大尺寸叶片制备技术研究[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
2	李琨;苏彦庆;骆良顺;李新中;郭景杰;傅恒志;;定向凝固Ti-45Al-5Nb合金的组织演化规律[A];第十二届全国铸造年会暨2011中国铸造活动周论文集[C];2011年
3	祁鹤;丁贤飞;林均品;张来启;陈国良;;定向凝固Ti-46Al-5Nb合金显微组织的研究[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
4	吴剑涛;李俊涛;蔡新宇;王祯;燕平;曾强;;重型燃机涡轮叶片定向凝固工艺研究[A];第十二届中国高温合金年会论文集[C];2011年
5	王哲;刘坤;任子平;;大型圆台钢锭定向凝固温度场数值模拟[A];2010全国能源与热工学术年会论文集[C];2010年
6	林涛;王博;刘玉;胡玉燕;卢东亮;孙艳辉;陈红雨;;定向凝固法提纯冶金级硅[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集（第4分册）[C];2010年
7	余文轴;马文会;魏奎先;杨斌;戴永年;;电磁定向凝固改善铝硅合金性能的研究[A];2012年全国冶金物理化学学术会议专辑（下册）[C];2012年
8	赵九洲;;过偏晶合金快速定向凝固的数值模拟[A];2000年材料科学与工程新进展（下）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
9	赵坦;燕冰川;申健;张健;楼琅洪;;液态金属冷却定向凝固对铸件显微组织的影响[A];动力与能源用高温结构材料——第十一届中国高温合金年会论文集[C];2007年
10	陈登明;杨治立;田世龙;廖道瀚;秦跃林;;LNGT72定向凝固的有限元模拟[A];2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	梅向阳;真空定向凝固法去除硅中金属杂质和晶体生长控制的研究[D];昆明理工大学;2010年
2	蒋光锐;氢在合金熔体中的溶解度与定向凝固多孔铜锰合金的研究[D];清华大学;2010年
3	杨天武;规则多孔铜的定向凝固制备技术及其孔隙结构分析[D];昆明理工大学;2013年
4	刘海霞;工艺因素对Al-4.5%Cu合金定向凝固组织及性能的影响[D];江苏大学;2009年
5	王狂飞;Ti-Al合金定向凝固组织演化的数值模拟[D];哈尔滨工业大学;2007年
6	高卡;定向凝固金属间化合物Al_2Cu相的生长形态、取向及力学性能研究[D];西北工业大学;2014年
7	张成军;定向凝固γ-TiAl基合金片层取向控制[D];哈尔滨工业大学;2008年
8	燕云程;Nb-Si基合金电磁冷坩埚定向凝固组织和性能研究[D];哈尔滨工业大学;2014年
9	崔红保;高温度梯度定向凝固Al-In和Cu-Pb合金组织演化[D];哈尔滨工业大学;2007年
10	任涛林;Q235钢和定向凝固钛铝合金板坯表层塑性变形及微观组织演变[D];哈尔滨工业大学;2011年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	郑达敏;真空定向凝固去除硅中挥发性杂质及其应用研究[D];昆明理工大学;2015年
2	袁银梅;Er对Ti-47Al-(2,6,10)Nb合金凝固组织和力学性能的影响[D];哈尔滨工业大学;2015年
3	何坤;冷坩埚定向凝固Nb-Ti-Si基超高温合金的组织和性能[D];哈尔滨工业大学;2015年
4	宋华伟;多场耦合下定向凝固法制备多晶硅的数值模拟[D];南昌大学;2015年
5	韩筱珩;中空侧壁定向凝固传热实验分析[D];辽宁科技大学;2015年
6	余燕;定向凝固制备Ni-Mn-Ga合金及外场训练[D];东北大学;2013年
7	邵建国;定向凝固Mn-Sb自生复合材料组织与性能的研究[D];东北大学;2013年
8	王刚;定向凝固提纯金属镍实验研究[D];昆明理工大学;2014年
9	张炎;Mg-Sm-χCa合金定向凝固行为研究[D];太原科技大学;2015年
10	郭璐;镁锰基合金定向凝固组织和性能的研究[D];太原科技大学;2015年

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前2条

1	赵丽娜　张春艳;43所多晶硅定向凝固铸锭炉交付使用[N];中国航天报;2010年
2	任佑;定向凝固提纯铝的装置[N];中国有色金属报;2002年

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