收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

调制周期对Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜性能的影响

林松盛  周克崧  代明江  石倩  胡芳  侯惠君  韦春贝  李福球  
【摘要】:采用真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面沉积同等厚度的三种不同调制周期Ti-Ti N-Zr-Zr N软硬交替多层膜。用扫描电镜、显微硬度计、结合力划痕仪和砂粒冲刷试验仪分析测试了多层膜的厚度、表面及截面形貌、硬度、膜/基结合力和抗砂粒冲蚀磨损性能等;重点研究了调制周期的改变对多层膜性能的影响。结果表明:随着周期数的增加,单一调制周期变薄,膜层中金属"液滴"颗粒等缺陷减少,同时也增加了大量的层间界面;层界面之间反复形核,晶粒细化,有利于多层膜表面光洁度、致密度、硬度、结合力和抗砂粒冲蚀能力的改善。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 鞠洪博;喻利花;许俊华;;不同调制周期TiAlSiN/Mo_2N多层膜的微观结构、力学和摩擦性能研究[J];真空科学与技术学报;2014年06期
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978