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宽截止长波红外带通滤光片的研制

叶自煜  王多书  张佰森  陈焘  马锋  盖志刚  
【摘要】:针对空间用宽截止长波红外带通滤光片具有通带内平均透射率高、抑制带截止深度深、波纹系数小,可适应复杂环境条件,具有高稳定性和高可靠性等特点,以10.03μm~12.50μm和10.6μm~11.2μm两类宽截止长波红外带通滤光片为研究对象,论述了宽截止长波红外带通滤光片的设计原则和方法,采用"会聚光红外光学系统"和等离子体辅助沉积工艺成功镀制了空间用宽截止长波红外带通滤光片。指出等离子体辅助沉积工艺更有利于改善长波红外滤光片膜层的显微结构和残余应力消除。

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