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场发射压力传感器的研究进展

廖波  林鸿溢  王越  
【摘要】:对现有场发射压力传感器的各种结构形式和研究现状进行了综合比较 ;从压力测量范围、阴极发射电流强度及阴阳极对准键合等方面分析传感器的改进途径 ;讨论了在阴极发射体阵列上淀积纳米硅薄膜 ,提高器件灵敏度的设想。

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