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样品表面覆氧对二次离子发射影响的实验研究

范垂祯  钱卫江  蒋能  
【摘要】:本文给出了样品表面充氧对二次离子发射影响的一些新的实验结果。表面氧压变化时,二次离子信号的变化有一暂态过程;二次离子信号饱和时的氧压随元素电负性的增加而增加,当一次离子为0.25mA/Cm~2、充氧压强为7×10~(-6)Torr时,所有元素的二次离子信号均达饱和;电负性大于等于3的元素不发生二次离子产额的氧增强效应。这些现象的研究及SIMS定性和定量分析有着重要意义。

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