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声表面波沟槽器件反射栅的离子束刻蚀

黄良甫  李守忠  谈治信  惠金河  周献文  周先明  
【摘要】:正 利用数控离子束刻蚀机,在铌酸锂、锗酸铋和石英压电晶片上,溅射刻蚀等深度和深度加权沟槽反射栅,制作了声表面波谐振器和脉冲压缩滤波器。选用合适参数和刻蚀程序,槽深分布接近理论值。一、引言利用沟槽栅阵对声表面波(S AW)的反射特性制作的SAW器件,如脉冲压缩滤波器(RAC)和沟槽谐振器,具有优良的

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