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IMA离化率补偿曲线及定量深度分析

李之仁  
【摘要】:近来,IMA中发展了一种高精度定量分析方法,即离化率补偿曲线法。本文以Si(B)样品为例,给出了在低氧区的离化率补偿曲线((K_B)/(K_(Si))-(I_(SiO~+))/((I_(TSiO)))/(I_(Si~+))/(I_(TSi)))并提出一种高精度定量测定表层深度剖面图的方法。

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