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LIGA实验站的设计及应用

田扬超  刘刚  洪义麟  郭育华  熊瑛  阚娅  
【摘要】:介绍了国家同步辐射实验室二期建设的LIGA实验站,研究了同步辐射光发散角对深度同步辐射光刻精度的影响;对深度同步辐射光刻扫描台的精度提出了理论要求;报道了深度同步辐射光刻、电铸和塑铸的实验结果.

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