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用于激光直写灰度掩模的二元金属薄膜的制备及光学性质

马锋  王多书  罗崇泰  叶自煜  刘宏开  王济州  
【摘要】:利用磁控溅射方法制备了Zn/Al二元金属薄膜,得出了制备Zn/Al二元金属薄膜的工艺参数。论述了其在激光直写灰度掩模中的应用。

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