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NiCr溅射薄膜厚度分布的Monte Carlo模拟

于映  陈跃  陈抗生  
【摘要】：本文采用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ（ＭＣ）方法对Ｓ－枪溅射ＮｉＣｒ薄膜过程进行了计算模拟，得到了沉积粒子在基片上的厚度分布，讨论了不同沉积参数对薄膜厚度分布的影响。

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