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NiCr溅射薄膜厚度分布的Monte Carlo模拟

于映  陈跃  陈抗生  
【摘要】:本文采用MonteCarlo(MC)方法对S-枪溅射NiCr薄膜过程进行了计算模拟,得到了沉积粒子在基片上的厚度分布,讨论了不同沉积参数对薄膜厚度分布的影响。

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