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闭空间气源对器件真空性能的影响

成永东  李明光  
【摘要】:在电真空器件的设计制造过程中,可能会遇到一种缺陷——管壁中闭空间气源,闭空间中的气体将通过微漏孔对器件真空性能产生重大影响。针对这一缺陷,建立了几种可能状态下器件的真空模型,指出了解决该缺陷的方法和依据。

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