收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

一种实用的超微技术─—LIGA技术及其应用

俞鹰  
【摘要】:超微技术是一种新工艺。本文主要介绍了该技术的具体内容。LIGA技术的特点及当前应用情况说明超微技术的实用价值及应用前景。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈博;;微/纳结构加工技术[J];黑龙江科技信息;2008年30期
2 刘刚;田扬超;;国家同步辐射实验室的LIGA技术研究及应用[J];机械工程学报;2008年11期
3 袁义坤;赵增辉;王育平;郭钦贤;;微机械制造技术发展及其应用现状[J];煤矿机械;2006年09期
4 李永海,丁桂甫,毛海平,张永华;LIGA/准LIGA技术微电铸工艺研究进展[J];电子工艺技术;2005年01期
5 张永华,丁桂甫,李永海,蔡炳初;MEMS中的牺牲层技术[J];微纳电子技术;2005年02期
6 余丹铭,梁利华,许杨剑;微电子机械技术的研究和发展趋势[J];电子机械工程;2005年01期
7 姜勇,陈文元,赵小林,丁桂甫,倪志萍,王志民;多层复杂结构准LIGA一体化加工工艺的研究[J];微细加工技术;2005年01期
8 李艳宁,唐洁,胡小唐,张国雄;脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用[J];压电与声光;2005年02期
9 林日乐,谢佳维,蔡萍,翁邦英,董宏奎,赵建华,王瑞,张巧云;体微加工技术在MEMS中的应用[J];压电与声光;2005年03期
10 孔祥东,张玉林,魏守水;基于电子束光刻的LIGA技术研究[J];微细加工技术;2004年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 伊福廷;张菊芳;;北京同步辐射装置LIGA技术研究[A];全国先进制造技术高层论坛暨制造业自动化、信息化技术研讨会论文集[C];2005年
2 于同敏;宫德海;;微型模具制造技术研究与发展[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集(二)[C];2004年
3 丁军平;周抗寒;黄刚;凌波;刘学博;;LIGA技术及其在四级质谱计阵列微型化中的应用[A];中国质谱学会第七届会员代表大会暨学术报告会论文集[C];2004年
4 欧阳勤;;真空微电子学与微真空电子器件的新进展[A];中国电子学会真空电子学分会——第十四届年会论文集[C];2004年
5 孙洪强;邱飞燕;;微机械加工技术[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
6 李艳宁;唐洁;胡小唐;张国雄;;脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用[A];全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集(微纳制造技术应用专题)[C];2003年
7 陈迪;蔡炳初;;LIGA技术、准LIGA微加工技术及其应用[A];全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集(微纳制造技术应用专题)[C];2003年
8 邹丽芸;张院春;彭良强;黄军容;伊福廷;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
9 彭良强;伊福廷;张菊芳;韩勇;邹丽芸;张院春;;细长型电火花工具电极的制作研究[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
10 彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工研究[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 梁静秋;微光机电器件及其关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 宫德海;基于准LIGA技术的微型齿轮型腔成形工艺研究及模具设计[D];大连理工大学;2005年
2 沙志宏;数控微流控芯片热压系统研制[D];浙江大学;2004年
3 黄军容;LIGA技术高深宽比研究[D];北京工业大学;2003年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 李义;日本成功利用电子自旋发电[N];中国煤炭报;2009年
2 本报记者 樊哲高;日本FINETECH展:全球平板显示业2010年复苏[N];中国电子报;2009年
3 记者 哲一晓伟 冯晓伟;平板显示:绿色点染“大”和“薄”[N];中国电子报;2008年
4 崔庆;打破“千年药罐子”的领头人[N];中国经济导报;2007年
5 鲍勇剑;在动荡时代谋定而后动[N];中国经营报;2004年
6 丰言;LIGA技术应用获进展[N];科学时报;2002年
7 杨虎军;DEM三维微加工能手[N];中国矿业报;2000年
8 韩清秀 邵开裕;科学世纪与科学精神[N];重庆日报;2000年
9 ;上海交大和北大开发出微细加工新技术[N];科学时报;2000年
10 记者 赵彦;我国LIGA技术迈向实用化[N];科学时报;2000年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978