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溶胶—凝胶法制备晶粒择优取向铁电薄膜的研究

王悦辉  庄志强  苏滔珑  
【摘要】:本文综述了用溶胶—凝胶法制备择优取向铁电薄膜的工艺方法、特点和机理的最新研究进展;详细分析溶胶—凝胶法制备择优取向铁电薄膜的影响因素,探讨了晶粒择优取向生长的机理。

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