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医用肺功能仪流量传感器模块的研发

陈洪彬  
【摘要】:文章介绍了一款新型的医用肺功能仪气体流量传感器模块研发的几项关键技术和工艺,通过采用新型透气薄膜材料形成压差、透气薄膜采用倾斜式设计、采样孔的文丘里结构设计、通过气容进行滤波、较高采样频率等方式,较大提升了传感器的测量性能。

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