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基于集总参数宏模型的微机械陀螺多域耦合分析

苑伟政  吕湘连  李伟剑  
【摘要】:对微机械陀螺中静电、结构、空气阻尼等物理域进行有效分离,在分别对各域进行数值模拟的基础上提取相应的物理参数,建立集总参数模型。在考虑边缘效应的情况下,提取了微结构电容与位移的解析表达式;根据热-流体类似方法,提取了阻尼孔结构的阻尼系数和压膜刚度;根据结构动力学理论,由模态分析提取结构的有效刚度和有效质量。将这些物理参数综合在系统仿真器中与外围电路共同进行仿真,准确地评估不同条件下微机械陀螺的行为特性。

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