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制膜技术与装置

【摘要】:正 O484.1 2001021189自持铝薄膜的工艺和特性研究=Technology andperformance of thin self-supporting aluminiumfilms[刊,中]/闫金良(西安交通大学电信学院.陕西,西安(710049))//光学技术.-2000,26(2).-97-98,100利用静电贴膜技术制备了自持Al薄膜,测量了50nm厚Al薄膜入射面的背散射系数和二次发射系数以及出射面的一次电子透射系数和二次发射系数,并对有

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