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微细加工技术与设备

【摘要】:正 TN305 2000053665自由空间微光学元件的研制=Fabrication of freespacemicro-optical elements[刊,中]/周光亚,赵小林,张明生(上海交通大学信息存储研究中心.上海(200030)),陈益新(上海交通大学应用物理系.上海(200030)),王宗光(上海交通大学应用化学系.上海(200030))//微细加工技术.—1999,(3).—58-64

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