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光波导材料与制备

【摘要】:正 TN252 99021064氮氧化硅光波导的制作途径、性质及应用=Technology,properties and application of SiON planaroptical waveguides[刊,中]/祖继锋(辽宁师范大学.辽宁,大连(116029)),余宽豪(上海冶金所微电子学分部.上海(200233))//半导体技术.—1998,(1).—10-13分析了硅基SiON光波导的工艺制作途径及其有关性能。根据实验结果,讨论了工艺中存在的问题。参18

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