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先驱体Fe膜结晶程度对FeS_2薄膜组织和性能的影响

陈旭波  刘艳辉  汪洋  孟亮  
【摘要】:利用不同温度基底溅射沉积Fe膜并硫化合成FeS2薄膜的方法,研究了先驱体Fe膜结晶程度对FeS2薄膜组织结构和电学性能的影响.结果表明,较高的基底温度能够产生较大尺寸的Fe膜晶粒.400℃硫化反应可使不同结晶程度的Fe转变为晶粒细小的FeS2.随先驱体Fe膜基底温度升高,合成后的FeS2膜体几何连续程度提高,载流子浓度下降及Hall迁移率上升.制备先驱Fe膜基底温度为300~400℃时的FeS2薄膜电阻率出现极大值.Fe膜基底温度变化改变了先驱体结晶程度,导致了FeS2薄膜中晶体缺陷行为及相变应力作用程度的变化,进而导致了FeS2薄膜电学性能的变化.

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