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声光调制器在激光直写系统光功率控制技术中的应用

沈亦兵  李培勇  
【摘要】:介绍了在激光直写系统中用于光功率控制的声光调制器,并根据光强稳定度要求分析给出了调 制器的结构参数和相关的控制电路。按控制原理及调制器参数设计实现的声光调制系统获得了好的光 强控制效果.受控前He-Cd激光器输出光强稳定度为15%,控制后一级衍射光光强稳定度达0.02%.

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