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紫外反射镜的研制

顾培夫  唐晋发  何孟权  
【摘要】:随着紫外大功率准分子激光器的发展,金属反射镜已不能满足要求,所以必须研制低损耗的全介质反射镜。本文描述了波长350nm(XeF)、308nm(XeCl)、248nm(KrF)和193nm(ArF)四种准分子激光反射镜的制备技术,其反射率分别达到99.7%、99.5% 、98%和96%。在波长308nm,反射镜的激光破坏阈值达8J/cm~2以上。

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