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基于MEMS加工工艺的亚毫米波肖特基单端混频器

钱嵩松  陈和峰  赵芸  
【摘要】:基于MEMS技术完成了一个360 GHz肖特基混频器的设计与加工制作。由于亚毫米波电路尺寸微小,通常的蚀刻方法不能满足加工精度要求,而MEMS工艺通过溅射、光刻、电镀等流程完全可达到亚毫米波电路的精度要求。由此得到的混频电路尺寸非常紧凑,可以满足小型化应用的需要。

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