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硫系玻璃的N~+离子注入及表面改性研究

陈国荣  程继健  
【摘要】:首次对As-Ge-Se三元系统和As-Ge-Se-Te四元系统的硫系玻璃试样进行了N+离子注入试验。结果表明,玻璃试样的显微硬度随N+离子注入剂量的增加而提高,并且在注入剂量达到2.5×1016附近的数值时为最大。XPS谱结果显示,在Ar+离子轰击6分钟后的试样表面出现N1s的结合能峰,此外各元素的结合能峰也在N+离子注入后发生了位移,并随Ar+离子轰击时间向高能方向移动。

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