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同步辐射X射线光刻应用新领域──LIGA技术

田扬超  胡一贯  刘泽文  阚娅  
【摘要】:介绍了一种超微细加工新方法-LIGA技术,并就LIGA技术对掩模材料、光刻胶和光源的要求予以讨论,同时还介绍了国外在这方面的最新研究成果。LIGA技术是深度X射线刻蚀、电铸成型和塑料铸模等技术相结合的综合技术,是制造微型机械最有前途的方法。与传统半导体超微细加工方法相比,LIGA技术有以下优点:(1)用材广泛,可以是金属、陶瓷、聚合物及玻璃;(2)可加工任意复杂的图形结构;(3)可制造有较大高宽比的超微细元件;(4)加工精度高,可达亚微米;(5)可重复复制,工业上能批量生产,成本低。

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