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热蒸发制备自支撑Al平面薄膜靶的参数测量

周斌  赖珍荃  徐平  沈军  邓忠生  吴广明  张勤远  王珏  
【摘要】:以热蒸发工艺制备微结构可控的自支撑 Al平面薄膜靶。该靶用于惯性约束聚变( I C F)精密化分解实验,研究驱动激光光束不均匀性对瑞利泰勒流体力学不稳定性的影响。以卢瑟福背散射( R B S)、俄歇电子能谱( A E S)、扫描电子显微镜( S E M )和αstep 500 台阶仪测量 Al 薄膜靶的靶参数。 Al膜厚度为微米量级,表面稳定的氧化层厚度约为 7 nm ,膜密度为2312 g·cm - 3,颗粒度01 μm ,表面粗糙度平均值为53 nm 。测试结果表明:热蒸发工艺制备出的自支撑 Al平面薄膜靶的厚度、表面平整度及均匀性基本符合 I C F 分解实验所提出的技术要求。

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1 周斌,赖珍荃,徐平,沈军,邓忠生,吴广明,张勤远,王珏;热蒸发制备自支撑Al平面薄膜靶的参数测量[J];原子能科学技术;1999年04期
2 周斌,赖珍荃,徐平,沈军,邓忠生,吴广明,张勤远,王珏;热蒸发制备自支撑Al平面薄膜靶的参数测量[J];原子能科学技术;1999年04期
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