关于离子源供气气压稳定性的探讨

【摘要】： <正> 一、前言随着离子源应用范围的扩展,对其工作稳定性的要求也越来越高。为改善离子源的工作特性,必须维持放电参数的稳定。放电参数主要取决于放电电流、磁场和放电室气压。其中,气压的稳定性对放电等离子体密度、引出离子束流、质子比及离子电荷数的影响最为明显。由图1,2,3,4可见,在最佳气压下,离子密度、质子比、引出离子束流出现峰值,最佳值两侧则明显下降。通常,离子源都希望选在最佳气压下工作。因此,保持气压的稳定性十分重要。对于直流工作状态的离子源尤其如此。