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薄膜表面和界面应力的X射线衍射分析(中)

王宁  王超群  
【摘要】:薄膜表面和界面应力的测量是近年来的热点课题,原则上,薄膜与体材的应力分析方法并无差别,可以通过X射线衍射进行测量。本文以有关薄膜和表面区X射线应力分析的专题评述为蓝本,解读有关依赖于试样和测量条件的分析方法和测量策略。为此,将推荐若干实用的测试方法:对于无织构和宏观弹性各向同性薄膜试样,可采用掠入射多衍射线的薄膜应力分析方法,在这种情况下,当用小入射角时,常规的sin2ψ法可以使用;对于(hhh)和(h00)的应变测量,具有准各向同性的优点,可以直接采用sin2ψ法;对于有织构试样,材料呈宏观弹性各向异性,可采用晶体群方法。这些方法对于薄膜、多层膜、硬质涂层或体材近表面区的应力分析,具有十分重要的理论价值和使用意义,也可用于新型电子薄膜材料等的应力分析,为其性能改善和控制提供理论依据。

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