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Zno-SiO_2-Si结构中压电薄膜C轴取向等参数对声表面波的影响

邓明晰  
【摘要】:当Zno-SiO2-Si结构中的Zno薄膜c轴取向偏离基片法向时,将对声表面波传播速度、机电耦合系数等参量产生影响,本文对此问题进行了理论分析和数值计算;同时还讨论了本结构中影响声表面波束偏的一些参数.

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