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等离子体技术在多晶硅还原炉的应用

李磊  童烘辉  蒲学森  陈林  钱峰  
【摘要】:针对内蒙多晶硅项目,在等离子体发生器对还原炉内部进行加热的条件下,对炉内温度场进行了试验测试,同时采用FLUENT软件对其进行了数值模拟。理论和计算的综合结果表明,等离子体加热技术在多晶硅还原炉中有着良好的加热应用效果。与同类型加热设备卤素灯相比,等离子发生器不仅加热效率高且运行成本相对较低,具有良好的应用前景。

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