双层辉光离子渗金属技术等离子体诊断初探

【摘要】：利用朗谬尔静电探针技术对双层辉光离子渗金属的等离子体参数进行了初步诊断．结果表明，等离子体电位和电子温度随气压的升高平缓下降，而等离子体密度则随气压的增加而提高，等离子体电位和电子温度均随源极电压和工件阴极电压的增加而降低．在适当的工艺条件下，源极和阴极之间产生了不等电位空心阴极效应，等离子体密度从１０１０数量级增加到１０１２ｃｍ－３．

下载App查看全文

下载全文更多同类文献

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前10条

1	朱清文;第7届国际等离子体化学会议(ISPC-7)[J];力学进展;1986年03期
2	石玉龙;李世直;;等离子体诊断——探针法简介[J];青岛科技大学学报(自然科学版);1986年01期
3	金佑民;《高温测量的探针技术》[J];力学与实践;1987年01期
4	;第四届全国低温等离子体科学和技术交流会在上海召开[J];稀有金属;1988年01期
5	段忆翔;金巨广;黄本立;;激光诱导离子荧光光谱分析[J];分析化学;1989年01期
6	于晓凌;;DC放电Plasma动态扫描三探针系统[J];华中科技大学学报(城市科学版);1989年03期
7	段忆翔;张寒琦;俞世荣;金钦汉;;等离子体作为原子化器在原子荧光和原子吸收光谱分析中应用的进展[J];分析仪器;1990年01期
8	林揆训，石旺舟，王洪，林璇英，姚若河，余楚迎;PCVD过程中的等离子体诊断[J];汕头大学学报(自然科学版);1997年01期
9	李成明,徐重,田林海,王建明,苏永安,谢锡善,董建新;双层辉光离子渗金属技术等离子体诊断初探[J];应用科学学报;1999年02期
10	宋仁峰,杨利营,盛京;等离子体化学中的诊断技术[J];化工科技;2002年02期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	陆云祥;都亨;薛丙森;;航天器尾流数值计算的物理模型[A];中国空间科学学会空间探测专业委员会第九次学术会议论文集[C];1996年
2	郑志坚;;核物理与等离子体物理学科研究进展[A];中国工程物理研究院科技年报（1998）[C];1998年
3	成金秀;杨存榜;温天舒;温树槐;唐道源;郑志坚;常增虎;山冰;刘进元;高盛琛;刘秀琴;;用于等离子体诊断的X射线皮秒分幅相机[A];第8届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集（二）[C];1996年
4	钟云泽;郭干诚;刘仪;傅炳忠;董贾福;;软X射线成像相机的研制[A];第9届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集[C];1998年
5	邱孟通;王奎禄;王文生;王宝慧;魏福利;;一种X射线变像管能谱响应特性研究[A];第十届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集[C];2000年
6	李向东;韩申生;王成;徐至展;;强耦合等离子体光谱及其在强耦合等离子体诊断中的应用[A];Strong Field Laser Physics--Proceedings of CCAST(World Laboratory) Workshop[C];2002年
7	王巍;陈大鹏;刘明;叶甜春;李兵;;高密度等离子体刻蚀系统中诊断模型的初步分析[A];2004全国测控、计量与仪器仪表学术年会论文集（下册）[C];2004年
8	唐平瀛;戴晶怡;谈效华;向伟;石磊;;离子源研究中的光谱诊断[A];2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2004年
9	唐晓亮;邱高;;常压介质阻挡放电等离子体发射光谱研究[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
10	李林波;杨建伦;徐荣昆;;Z-Pinch实验X光辐射过程一维空间分布诊断技术[A];中国工程物理研究院第七届电子技术青年学术交流会论文集[C];2005年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	徐文骥;等离子熔射成形法制造零件技术的基础研究[D];大连理工大学;2000年
2	王琛;X射线激光实验研究[D];中国工程物理研究院;2004年
3	肖沙里;用于激光等离子体X射线诊断的椭圆弯晶谱仪研究[D];重庆大学;2004年
4	万雄;发射光谱层析算法研究及其三维流场重建应用[D];南京航空航天大学;2005年
5	王春华;尘埃等离子体中静电波的研究[D];大连理工大学;2006年
6	孙牧;等离子体源离子注入材料表面改性及其机理研究[D];中国科学院研究生院（物理研究所）;1997年
7	张芝涛;大气压窄间隙DBD等离子体源与应用基础研究[D];大连海事大学;2003年
8	田阔;直流电弧等离子发生器射流脉动的研究[D];清华大学;2001年
9	张芝涛;大气压窄间隙DBD等离子体源与应用基础研究[D];东北大学;2003年
10	欧阳亮;碰撞等离子体的产生及其性质研究[D];中国科学技术大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	高峰;衍射光学波面整形元件及衍射型轴锥镜设计研究[D];四川大学;2002年
2	隋振中;AIP脉冲偏压电源及等离子体诊断系统的设计与应用研究[D];大连理工大学;2003年
3	刘振;用于Z箍缩等离子体诊断的多幅M-Z干涉仪[D];清华大学;2003年
4	耿自才;微波氢等离子体发射光谱诊断[D];大连理工大学;2004年
5	王金刚;NbN薄膜的制备及等离子体诊断[D];大连理工大学;2004年
6	吴定国;DNB电源控制系统的研究及设计[D];合肥工业大学;2005年
7	王国庆;弹道靶尾迹微波扫频干涉仪诊断系统仿真[D];电子科技大学;2005年
8	任冬梅;多波束点聚焦透镜天线[D];电子科技大学;2005年
9	田明锋;含温有界原子模型下电子与离子碰撞激发、电离截面的理论研究[D];中国工程物理研究院;2005年
10	王加扣;低温氢等离子体诊断[D];四川大学;2005年

中国重要报纸全文数据库

前3条

1	汪伟通讯员张国;650万元解析“疾病蛋白”[N];天津日报;2007年
2	记者刘纯友;中科大教授俞昌旋当选中科院院士[N];安徽日报;2007年
3	沈科协;闽籍中科院院士新增3名[N];福建日报;2007年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡在线购卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62982499 010-62783978	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南