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朗谬尔探针用于VAC等离子体诊断的初步研究

程仲元  邹积岩  杨磊  张汉明  
【摘要】:简要分析了朗谬尔(Langmuir)探针用于真空电弧镀膜(VAC)等离子体诊断的可行性及理论适用性问题.介绍了一种可用于VAC等离子体在线监测的探针诊断系统,并利用此系统分析了不同工艺参数下等离子体参数的变化.

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