收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

采用SF_6+O_2反应离子刻蚀聚酰亚胺膜

孙承龙  杜根娣  郭方敏  陈思琴  林绥娟  胡素英  
【摘要】:报道了在O_2或SF_6+O_2混合气体中反应离子刻蚀聚酰亚胺的基本原理.使用牛津等离子科技公司的Plasmalab μp型刻蚀仪,对厚度0—4μm的聚酰正胺膜,进行各向异性的刻蚀,获得了侧墙陡直的微细图形.

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 张明艳,王芳,金镇镐,衷敬和,曾恕金,范勇,雷清泉;无机组分对聚酰亚胺杂化薄膜电性能的影响[J];材料科学与工艺;2004年06期
2 ;光波导材料与制备[J];中国光学与应用光学文摘;2008年02期
3 陈江宁,张峻峰,陈东琛,华子春,余学海;热塑性聚氨酯-聚酰亚胺合金的制备及其性质研究[J];南京大学学报(自然科学版);2001年01期
4 李桂英,张其震,杨文泓;聚酰亚胺/蒙脱土纳米复合材料的制备与表征[J];山东大学学报(理学版);2003年05期
5 汪成,黄楠,白续铎,姜宪凯,王显达;苝聚酰亚胺光电性能研究(英)[J];黑龙江大学自然科学学报;2004年03期
6 董萼良,康新,陈凡秀,林保平,何小元;利用数字散斑相关法测定聚酰亚胺/SiO_2合成薄膜的力学性能[J];实验力学;2005年01期
7 刘秋萍;高玲香;阳林;;聚酰亚胺/硅石-钛酸钡纳米复合材料的制备与表征[J];陕西师范大学学报(自然科学版);2007年03期
8 王海珍;何英杰;苏现军;;双色滤光片光刻剥离技术研究[J];内江科技;2008年11期
9 魏然;李少夫;余黎;张自力;周惟公;郑志远;;超短脉冲激光与高分子聚合物聚酰亚胺的相互作用研究[J];科技信息;2009年08期
10 谭昌会,苏丽红,薛鹏冲,包春燕,刘新立,赵英英;三价铕掺杂的聚酰亚胺纳米复合物的制备[J];福建师范大学学报(自然科学版);2005年02期
11 耿洪斌;汤继俊;王智勇;陈庆民;;端芳香氨基聚醚为软段的聚醚酰亚胺热塑性弹性体的制备与表征[J];南京大学学报(自然科学版);2006年05期
12 许东;徐兴龙;林梓鑫;杜根娣;邹世昌;;Polyimide辐照效应的紫外及可见光谱研究[J];科学通报;1993年06期
13 王建,叶匀分,崔启明,郁祖湛,赵国庆;激光诱导聚酰亚胺上化学沉积金[J];复旦学报(自然科学版);1998年03期
14 ;聚酰亚胺彩色滤光片材料[J];液晶与显示;1989年06期
15 张春华,杨正华,丁孟贤;聚酰亚胺光控取向膜的研究现状[J];高分子通报;2002年06期
16 王利华;张爱清;陈栋华;赵莉;张玉;;一种新型聚酰亚胺的非等温热分解动力学[J];中南民族大学学报(自然科学版);2005年04期
17 周海军;;联苯型聚酰亚胺前驱体—聚酰胺酸的研究[J];河北省科学院学报;2006年03期
18 龚红;梁蓓;;聚酰亚胺表面钝化工艺[J];贵州大学学报(自然科学版);2007年01期
19 刘卫东;朱宝库;;聚酰亚胺/二氧化硅杂化膜和复合膜的制备与结构研究[J];山东师范大学学报(自然科学版);2007年03期
20 沈艳琳;;聚酰亚胺材料在电工电子工业中的应用[J];高等函授学报(自然科学版);2008年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘立柱;杨立倩;翁凌;崔巍巍;朱兴松;石慧;;聚酰亚胺/SiO_2-Al_2O_3三层复合薄膜制备工艺研究[A];第十三届全国工程电介质学术会议论文集[C];2011年
2 韩文广;李耀星;;聚酰亚胺废料回收的研究[A];第八届全国绝缘材料与绝缘技术学术会议论文集[C];2002年
3 武迪蒙;曾科;杨刚;;AB-型半晶聚酰亚胺的合成和表征[A];2005年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2005年
4 陈建升;李仲晓;尚玉明;胡爱军;高生强;杨士勇;;短切碳纤维增强的PMR型聚酰亚胺复合材料的合成与性能研究[A];复合材料:生命、环境与高技术——第十二届全国复合材料学术会议论文集[C];2002年
5 雷勇;刘宇锋;江璐霞;傅强;;聚酰亚胺/蒙脱土纳米复合薄膜的制备和表征研究[A];复合材料的现状与发展——第十一届全国复合材料学术会议论文集[C];2000年
6 熊义富;敬文勇;邱志聪;;聚酰亚胺抗氚辐照性能[A];中国工程物理研究院科技年报(2005)[C];2005年
7 速小梅;赵慨;冯煜东;王艺;王志民;;聚酰亚胺基底高吸热型金属陶瓷复合膜理论分析[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
8 郝济远;高生强;王晓春;胡爱军;杨士勇;;PMR-Ⅱ热固性聚酰亚胺材料提高性能的研究[A];复合材料的现状与发展——第十一届全国复合材料学术会议论文集[C];2000年
9 霍海涛;孙宏杰;莫松;杨士勇;范琳;;热熔性聚酰亚胺的制备与粘接性能研究[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)[C];2009年
10 武德珍;战佳宇;余韵;齐胜利;吴战鹏;;高性能及功能聚酰亚胺/纳米复合材料的原位制备科学与技术[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(下册)[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 黄孝华;新型功能性聚酰亚胺的合成与性能研究[D];上海交通大学;2011年
2 马涛;非规整主链结构的新型聚酰亚胺合成及其性能研究[D];兰州大学;2010年
3 王大明;乙炔基封端聚酰亚胺及其复合材料的增韧研究[D];吉林大学;2010年
4 王玮;半结晶性聚酰亚胺模塑粉的制备、性能表征及熔融行为研究[D];吉林大学;2012年
5 于晓慧;新型高性能聚酰亚胺超薄薄膜的结构设计、制备及研究[D];吉林大学;2011年
6 田国峰;具有存储功能的聚酰亚胺及聚酰亚胺/银纳米杂化材料的合成与制备[D];北京化工大学;2011年
7 赵晓燕;可溶性聚芳醚(PAE)和聚酰亚胺(PI)的合成及其电纺纤维膜性能研究[D];东华大学;2010年
8 高秋爽;聚酰亚胺/梯形聚倍半硅氧烷杂化薄膜的制备及其结构与性能的研究[D];北京化工大学;2012年
9 徐慎刚;主链含荧光染料可溶性聚酰亚胺的合成、表征和发光性能[D];浙江大学;2003年
10 范浩军;侧链液晶聚酰亚胺的合成、表征及性能研究[D];四川大学;2001年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王霖;聚酰亚胺纳滤膜的制备与分离性能[D];天津大学;2004年
2 布凤景;聚酰亚胺高反射太阳帆薄膜材料动态力学性能的群子统计理论研究[D];北京化工大学;2010年
3 张晓霞;聚酰亚胺微球制备的工艺条件优化和采用小分子致孔剂致孔的初步探讨[D];太原理工大学;2011年
4 王建浦;新型(艹北)聚酰亚胺发光二极管的研究[D];浙江大学;2003年
5 赵晓博;反相非水乳液法制备聚酰亚胺微球[D];太原理工大学;2010年
6 李秀茹;聚酰胺酸稳定性和超支化聚酰亚胺的研究[D];福建师范大学;2001年
7 吴桂龙;有机可溶性聚异酰亚胺及聚酰亚胺的合成与性能研究[D];河北工业大学;2004年
8 汪成;含电子给——受体结构苝聚酰亚胺的合成与光电导性研究[D];黑龙江大学;2003年
9 庞洪涛;6FDA型聚酰亚胺膜材料的合成及其气体渗透性能研究[D];南京理工大学;2004年
10 陈超峰;聚芳醚酮型聚酰亚胺薄膜的制备及其性能研究[D];东华大学;2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 马庆圆;深圳惠程聚酰亚胺产业化之梦渐成真[N];中国证券报;2011年
2 证券时报记者 黄丽;深圳惠程聚酰亚胺项目纵深发展[N];证券时报;2011年
3 本报记者 马庆圆;航天控股 进军聚酰亚胺新材料领域[N];中国证券报;2011年
4 ;我国研制出热塑型聚酰亚胺[N];中国包装报;2006年
5 于柏林;聚酰亚胺有了全新合成途径[N];中国化工报;2006年
6 孟贤 柏林;首条氯代苯酐生产线在大连建成[N];中国化工报;2006年
7 丁孟贤 于柏林;我国氯代苯酐直接合成聚酰亚胺试车成功[N];中国矿业报;2006年
8 本报记者 丁秀玉;生于忧患 志在超越[N];科技日报;2006年
9 蔡永源;材料新秀加紧抢市场[N];中国化工报;2001年
10 马扬;大连建成首条氯代苯酐生产线[N];中国化工报;2006年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978