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用光声声表面波谱仪研究表面缺陷

章肖融  干昌明  郑乐奇  
【摘要】：论证了一个带宽为11MHz、无接触式的光声表面波谱仪,并给出了用这一谱仪测量固体表面缺陷的结果。

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