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激光掺杂和退火的研究

孙金坛  程国义  张光荣  王和庆  王爱平  张昌林  
【摘要】:本文报告了用激光照射涂层硅片进行掺杂制造突变 pn 结的实验;形成的 pp~+和 nn~+结构具有良好的欧姆接触。也给出了用激光退火热扩散硅片的实验结果。

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