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自聚焦透镜光斑直径、分辨率测试研究

黎高平  宗亚康  吴宝宁  张越  贾大明  孔军  杨照金  
【摘要】:通过显微镜放大、CCD图像接收采集、计算机数据处理技术来测量自聚焦透镜(GRIN透镜)光斑直径、分辨率。重点对误差进行分析。通过对样品520-025-083的测试,表明该系统光斑直径、分辨率测试不确定度优于±0.1μm及1%,与误差分析相吻合。

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