收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

LIGA技术进展

陈迪  
【摘要】:LIGA技术进展陈迪(上海交通大学信息存储研究中心)LIGA是德文Lithograpie,Galvanoformung和Abformung三个词的缩写,是由X光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的先进制造技术。80年代初由德国卡尔斯...

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 田扬超,胡一贯,刘泽文,阚娅;同步辐射X射线光刻应用新领域──LIGA技术[J];原子能科学技术;1994年04期
2 俞鹰;一种实用的超微技术─—LIGA技术及其应用[J];制造技术与机床;1994年03期
3 李川奇,沈连官,田扬超,胡一贯;微细加工新技术-LIGA技术研究[J];仪器仪表学报;1995年S1期
4 田扬超;微细加工新方法——LIGA技术[J];物理;1996年02期
5 陈迪;LIGA技术进展[J];仪器仪表学报;1996年S1期
6 高晓萍;欧洲的微机械技术[J];光机电信息;1996年04期
7 揭景耀;微三维机械加工的最新技术──LIGA技术[J];机械科学与技术;1997年05期
8 揭景耀;LIGA 微结构与微电子电路准单片集成方法[J];新技术新工艺;1997年03期
9 揭景耀;微电子机械系统的制作技术[J];新技术新工艺;1997年06期
10 梁静秋,姚劲松,王飞;LIGA 技术中的 X 射线掩膜[J];仪表技术与传感器;1997年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工研究[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
2 彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工研究[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
3 李艳宁;唐洁;胡小唐;张国雄;;脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用[A];全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集(微纳制造技术应用专题)[C];2003年
4 陈迪;蔡炳初;;LIGA技术、准LIGA微加工技术及其应用[A];全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集(微纳制造技术应用专题)[C];2003年
5 邹丽芸;张院春;彭良强;黄军容;伊福廷;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
6 彭良强;伊福廷;张菊芳;韩勇;邹丽芸;张院春;;细长型电火花工具电极的制作研究[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
7 于同敏;宫德海;;微型模具制造技术研究与发展[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集(二)[C];2004年
8 丁军平;周抗寒;黄刚;凌波;刘学博;;LIGA技术及其在四级质谱计阵列微型化中的应用[A];中国质谱学会第七届会员代表大会暨学术报告会论文集[C];2004年
9 伊福廷;张菊芳;;北京同步辐射装置LIGA技术研究[A];全国先进制造技术高层论坛暨制造业自动化、信息化技术研讨会论文集[C];2005年
10 吕文龙;陈义华;孙道恒;;表面微加工中镍的微电铸[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 梁静秋;微光机电器件及其关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 黄军容;LIGA技术高深宽比研究[D];北京工业大学;2003年
2 沙志宏;数控微流控芯片热压系统研制[D];浙江大学;2004年
3 宫德海;基于准LIGA技术的微型齿轮型腔成形工艺研究及模具设计[D];大连理工大学;2005年
4 肖日松;微电铸工艺参数对模具质量影响研究[D];大连理工大学;2006年
5 陆平;用微电铸方法制作微流控芯片镍基阳模的研究[D];浙江大学;2006年
6 马波;微细结构中永磁材料电铸技术研究[D];长春理工大学;2007年
中国重要报纸全文数据库 前4条
1 杨虎军;DEM三维微加工能手[N];中国矿业报;2000年
2 ;上海交大和北大开发出微细加工新技术[N];科学时报;2000年
3 记者 赵彦;我国LIGA技术迈向实用化[N];科学时报;2000年
4 丰言;LIGA技术应用获进展[N];科学时报;2002年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978