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薄膜四分之一波片的设计和制备

顾培夫  唐晋发  
【摘要】:多层膜反射镜在倾斜入射时,两个偏振分量会产生不同的相移。因此,可用计算机优化设计出特定相位差的膜系。本文的目的是设计90°相位膜,它的作用就象四分之一波片。与传统的波片相比,它的优点是可以适用于任何波长,具有高的相位差精度和大的孔径。文中提出了两种设计方法并报告了制备技术及实验结果。

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