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大直径锗单晶制备工艺研究及其指标分析

李宝学  赵燕  罗玉萍  孙吉单  
【摘要】:采用直拉法(Czochralski method)生成了直径为100 mm、200 mm和300 mm的N型红外用锗单晶,研究了拉晶工艺参数对拉晶的影响,讨论了拉晶速度、成品率和单位质量锗单晶电耗与单晶直径的关系,并对不同直径单晶的晶帽差异进行分析。

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